無塵室評估報告 前言在電子產業中 Clean Room Class100-Wafer Lab,L.C.D.Paunel,Color Filter,Class 1000—Wafer Testing,Die Bonding( 前段 )，Wafer Bondin( 後段 )，L.C.M,Blacklight module Etc, 這些產業對 Particle 要求非常嚴格，因為 Particle 會污染產品，造成 Yield 降低，而 ESD 與 Particle 是息息相關， Clean Room 最怕有 ESD 之產生，立即聚集非常多 Particle，使該工作區之產品良率降低。 Clean Room 屬於硬體，建蓋非常容易; 無塵室的管理，維護屬於軟體，不容易，必須要專業管理，才能達到其效果。表1-1造成缺陷各因素比例值
無塵室等級區分(美國Federal STD--聯邦標准209E定制)： |
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等級 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 |
1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | N.A |
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | N.A |
100 | N.A | 750 | 300 | 100 | N.A |
1000 | N.A | N.A | N.A | 1000 | 7 |
10000 | N.A | N.A | N.A | 10000 | 70 |
100000 | N.A | N.A | N.A | 100000 | 700 |
一、環境控制1.導電地板 — 太髒，使用 Clean Room Wiper 擦拭時，附著太多Particle ，且有黑點狀況。建議改善：必須使用無塵室專用吸塵器 (HEPA FILTE CLASS100用 ) ，再用純水及無塵室拖把每日清理，使地板保持最乾淨。2.工作桌 / 機台 — 可明顯看到 Particle ，此 Particle 確定 100um，且非常嚴重 ( 在 CLASS1000 不能有如此大之 Particle)
建議改善：隨時使用 Clean Room Wiper ， I.P.A 或 DI Water 擦拭，且 Clean Room Wiper必須要有吸濕率， Particle 要少，少是CLASS1000 用之 WIPER擦拭乾淨。執行人員：每工作站達工作人員。3.直線壓克力隔板 — 肉眼可見有水痕跡，主要原因用一般之 Wiper(未經評估合格 ) 及一般水擦拭使用，而造成留下明顯之水痕 (Particle 附著)
建議改善：清潔公司之作業人員，採用合格之 Clean Room Wiper ，DI Water 擦拭，使其不附著 Particle。
執行人員：清潔公司之作業人員，至少每星期擦拭 ( 因為此壓克力屬於絕緣體，表面阻抗值 10(12) Ω/SQ 以上 )4.更衣鞋區 —該區是無塵室與非無塵室交錯區，最容易附著 Particle區域。
A.導電地板：應隨時擦拭，將更鞋、更衣所產生之 Particle 隨時清除，至少 4 次 /DAY 。
B.簡明區域隔離：將更衣區分為 
C.STICKYMAT-須經常撕換，保持最佳狀況，將鞋套之 Particle去除，而進入無塵室，減少污染無塵室。 5.導電鞋測試器
使用導電測試目的是工作人員穿著，靜電鞋與人體之間之導通性，使其保持 750K-10MΩ之導通性，將人體靜電經過靜電到導電地板，排放到大。放置位置--進入Airshower之前做測試，非放置於無塵室工作區內。 6.無塵椅
A.採用一般切割海綿，當作業人員坐下時將Particle向外排出而污染無塵室
B.量測表面阻抗值為10(12) Ω/SQ 以上，此屬絕緣體當離開座位時會產生靜電而造 成Particle聚集。
C.五金配件均採用烤漆，容易脫落，污染無塵室。
D.氣壓棒加油太多，產生油氣亦是Particle產生源。
E.輪子--一般絕緣體子，無法將靜電排除，綜觀上述，此乃屬一般為公椅子非無塵椅。二、人員防護 圖1-1微塵產生類別比重
圖1-2以空氣當介質的微塵粒子傳送途徑
圖1-3吸煙和非吸煙者微塵粒子產生比較
單位：每分鐘、每人
資料來源：中國生產力中心技術研討會資料 |
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| 粒子大小/衣服/動作 | >= 0.3u | >=0.5u |
| 一般工作服 | 無塵服 | 普通作業衣 | 無塵服 |
| 白衣形 | 全覆形 | 白衣形 | 全覆形 |
| 站立(靜姿) | 543,000 | 151,000 | 13,800 | 339,000 | | 5,580 |
| 坐下(靜姿) | 448,000 | 142,000 | 14,800 | 302,000 | | 7,420 |
| 腕上下 | 4,450,000 | 463,000 | 48,000 | 2,980,000 | | 18,600 |
| 上身前屈 | 3,920,000 | 770,000 | 39,200 | 2,240,000 | | 24,200 |
| 腕的自由動作 | 3,470,000 | 572,000 | 52,100 | 2,240,000 | | 20,600 |
| 頸上下左右 | 1,230,000 | 187,000 | 22,100 | 631,000 | | 11,000 |
| 屈身 | 4,160,000 | 1,110,000 | 62,500 | 3,120,000 | | 37,400 |
| 踏步 | 4,240,000 | 1,210,000 | 92,100 | 2,800,000 | | 44,600 |
| 步行 | 5,360,000 | 1,290,000 | 157,000 | 2,920,000 | | 56,000 |
1.衣服-是一般成衣做法，並沒有無塵室加工概念：
(1)粘扣;採用抓毛之粘扣，極易粘/附著其他線條。
(2)縫合之線非POLYSTER線產生毛絨絨，且易掉落污染產品。
(3)車縫技術極差-脫落、歪，脫離包縫位置區。
(4)CLASS 100之衣服、手腕部未採用內繡雙層保護，身體內部之 Particle極易溢出，而污染產品。
建議改善：重新評估，比較有SENSER之無塵衣制造商與供應商。 2.鞋子
(1)量測表面阻抗10(8) Ω/SQ均合ESD協會之標準。
(2)採用四孔透風包鞋均不符合CLASS 100~1000之標準用。
建議改善：全面更改為長筒靴。 3.口罩
(1)工作人員：口罩都是毛絨絨，快掉Particle，是非常嚴重之問題。
(2)來賓：採用紙口罩，僅適用10000~100000級。
建議改善：全面檢查不適合之口罩，來賓採用長織之不織布罩，但必須符合 CLASS100級內使用。 4.手套/指套：全程未帶手套，工作人員之手有手印，皮膚會脫皮，均會污染產品。指套：含有微量之粉塵。 建議改善：
A. 在半導體廠均採用P.V.C手套，評估時注意Particle、PIN、HOLE、ION等
B. 指套-確實採用無粉指套。 1.檢驗工作站
桌墊：A.表面阻抗值10(9) Ω/SQ，均符合ESD協會之標準。
B.肉眼即可發現Particle，表示沒有擦拭。
不銹鋼桌--焊接都是凹凸，沒有磨平光滑，極易塞入Particle，實在不適合無塵室使用。
建議改善：採用Clean Room Wiper擦拭。 2.顯微鏡--部分採用海綿，此乃不適合無塵室用。
建議改善：立即更換，可採用防靜電桌墊取代，不產生靜電及Particle。 3.氮氣櫃
(3)內部有非常多Particle、油漬。
(4)玻璃極髒且是絕緣體，易產生靜電。
(5)門鎖--生銹
建議改善：
A.全面使用I.P.A、Acceton、Clean Room Wiper擦拭，達到無塵室級用。
B.門鎖--立即更換
C.透明視窗--採用防靜電壓克力、P.V.C或擦拭乾淨。 4.TappingMachine(研磨貼片機)--內部已安裝離子風扇，量測靜電壓為24V，符合標準。 5.研磨撕片機--量測靜電壓為100V左右符合標準。 6.貼片機--量測靜電壓為15800V，離子風扇壞了。
建議改善：立即更換離子風扇。 7.所有機台邊之壓克力文件放置箱--均為絕緣體，表面阻抗值10(2)Ω/SQ，靜電壓均超1200V以上。 議改善建：
A.更改為抗靜電板，其表面阻抗值為10(8)~10(9) Ω/SQ。
B. 視貴公司需要與否。
C. Die Bonder&Wire Bonder均屬於導體設備，不產生靜電ok。三、CLASS 100區域 1.烤漆隔板--工程師告知為ESD烤漆隔板，經量測表面阻抗值為10(12)Ω/SQ，為一般絕緣烤漆隔板。 2.隔離窗--材質P.V.C,僅一面為10(4)~10(6)Ω/SQ屬導體，另一面為10(12)Ω/SQ絕緣體，且亂裝，正面，反面不一致。
建議改善：全面導正，將導體面朝向CLASS 100區內，以確保磨擦時不產生靜電及CLEAN ROOM CLASS100之清靜度。 3.記錄紙--一般用紙
建議改善：全面採用Clean Room Paper。 4.桌墊、桌面--隨時可以看到大顆粒Particle，實在談不上CLASS100。 5.人員衣服--特別加強其品質要求及規格要求。 6.人員進出管制--非此區工作人員，不得進入。 7.地板清潔--必須提高清潔頻率。四、包裝材料 必須全部採用防靜電材料，在使用時不產生靜電，盡可能避免使用海綿類之產品。
教育訓練/維修保養：
蓋一間CLASS 100,1000之CLEANROOM非常容易，此乃屬於硬體方面，而教育訓練、維護保養乃屬於軟體方面，軟體方面做好，CLEANROOM等級會提昇，而YIELD會提高，增加競爭力，獲利佳。
備註：10(6)表示10的6次方，以此類推。